超聲波清洗效果與振動頻率、功率和清洗液關系較大。一般來說，超聲清洗振動頻率從20~120kHz之間，當頻率較低時會產生較大的噪音，較高時波長較短，能量集中，通常用于清洗較小、較精密的零件，但頻率過高時波長減短，空化作用減弱，清洗效率降低。對于油污較多、形狀復雜的零件通常用較高的功率進行清洗，功率也不能過大，過大的功率清洗效果確實提高了，但因空化作用太強使較精密的零件產生蝕點。清洗液的溫度和物理特性對超聲清洗影響較大，水清洗液最適宜的清洗溫度為40 ~ 60 C，一般清洗波液面高于振動子表面100 mm為佳。選擇清洗波時，應考慮清洗液安全性，價格以及一定量的清洗液可清洗多少符合要求的工件等因素。水為最普通的清洗液，因此使用水基溶液的清洗機操作簡使、應用廣泛，成本低。